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蚀刻网蚀刻原理

来源:未知 发布时间:2017-08-18 11:17 点击: 
蚀刻网是指使用腐蚀性液体或者激光雕刻等手段,对金属板材进行蚀刻,从而形成的镂空网。用于集成电路印刷,荧光屏电子格栅,精确过滤,微电极元件等。那么蚀刻网究竟是怎么进行蚀刻的呢?下面我们进行一一的讲解:
蚀刻原理的介绍:
(1)       FeCL3浓度对蚀刻速度的影响:FeCL3蚀刻液中随着FeCL3浓度的增高,蚀刻速度加快。当所含FeCL3超过某一浓度时,由于溶液黏度增加,蚀刻速度反而有所下降。
(2)       盐酸的添加量对蚀刻速度的影响:在蚀刻液中加入盐酸,一则可以抑制FeCL3和CuCL2的水解;二则可提高蚀刻速度。特别是当蚀刻液中铜含量达到37.4g/L后,盐酸的作用更加明显。
(3)      温度对蚀刻速度的影响:在FeCL3蚀刻工艺中,随温度的增加,蚀刻速度亦加快,比如当温度在50度时,全新蚀刻液对铜的蚀刻速度可达10um/min。但在实际生产中,都是采用常温蚀刻方法。FeCL3对铜的蚀刻是一个放热反应,随着蚀刻的进行,蚀刻液温度会逐渐升高,蚀刻速度加快。随着FeCL3的消耗,蚀刻速度下降。同时这一温升过程比较缓慢,所以在整个蚀刻过程中蚀刻速度变化不大。
(4)       搅拌对蚀刻速度的影响:静止蚀刻的速度和蚀刻质量都是比较差的。这是因为在蚀刻过程中,一方面被蚀刻铜表面和蚀刻液中都会有沉淀生成,影响了铜的正常蚀刻;另一方面,铜在蚀刻过程中,被蚀刻表面的溶液会逐渐呈现暗绿色,这表明在补被蚀刻表面的FeCL3已跟铜表面发生了还原反应而失去了氧化能力。
蚀刻网蚀刻原理
            cu+FecI,一cucl十Fe~:1,    (5  41)
cucl离子具有还原性,和腐蚀液叶J的Fe¨进一步反应生成cucl,。
    Cucl+FeCl、一(:ucl2+FeCl 2    (5—42)
生成的cucl2具有氧化性,同样会与铜发生氧化还原反应。
    cu+c∞12——2cucl    (5—43)
蚀刻网技术优势:
1、此技术改进了传统的金属处理方法。 2、这种技术可以通过数据,图表.设计及复杂的柱状等来加工凹凸的金属产品。 3、蚀刻技术可以用于制作为孔型及各种形式。
蚀刻广泛应用于集成电路、荧光显示屏、精确过滤、微电极等方面。
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